Энциклопедический словарь нанотехнологий

ФОТОРЕЗИСТ

Термин
фоторезист
Термин на английском
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литография, травление в литографии
Определение
свето- или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на подложку в литографическом процессе путем его облучения (экспонирования) через маску с проекциями элементов электронной схемы и последующего проявления (травления в растворителе) так, что изображение схемы переносится на подложку.
Описание

В зависимости от характера изменения структуры и свойств в результате облучения, фоторезисты делят на негативные и позитивные.Если в результате облучения пленка полимеризуется и теряет растворимость, то обработка растворителем (проявление) ведет к удалению только необлученных участков, и на подложке возникает негативное изображение маски. Соответствующие фоторезисты называются негативными. Если после облучения фоторезист становится растворимым, то при облучении через маску и последующем проявлении удаляются облученные участки, и на подложке возникает позитивное изображение маски. Такие фоторезисты называют позитивными. Позитивные фоторезисты позволяют более точно передавать мелкие геометрические детали изображения по сравнению с негативными. Позитивные фоторезисты изготовляют из феноло- или крезолоформальдегидной смолы с о-нафтохинондиазидом, негативные - из поливинилового спирта с солями хромовых кислот или циклизованного каучука с добавками, вызывающими “сшивание” макромолекул при облучении.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации

Установка для нанесения фоторезиста


Теги
Разделы
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

  1. фоторезист—ФОТОРЕЗИСТ от фото. iи англ. resist сопротивляться препятствовать полимерный светочувствительный слой нанеснный на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плнк...Большая советская энциклопедия
  2. фоторезист—от Фото. и англ. resist сопротивляться препятствовать полимерный светочувствительный слой нанеснный на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плнкой. Ф. исполь...Большая Советская энциклопедия II
  3. фоторезист—сущ. муж. родафоторезист уem...Большой русско-украинский словарь
  4. фоторезист—фоторезист у...Дзвона чи дзвону? або -А (-Я) чи -У (-Ю) в родовому відмінку
  5. фоторезист—Начальная форма Фоторезист винительный падеж единственное число мужской род неодушевленное...Морфологический разбор существительных
  6. фоторезист—фоторезист фоторезист а...Орфографический словарь
  7. фоторезист—фоторезист...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік
  8. фоторезист—photorsist rsine photosensible...Политехнический русско-французский словарь
  9. фоторезист—Орфографическая запись слова фоторезист Ударение в слове фоторезист Деление слова на слоги перенос слова фоторезист Фонетическая транскрипция слова фоторезист [фатаризис...Полный фонетический разбор слов
  10. фоторезист—фоторезист аСинонимы материал резист...Русский орфографический словарь
  11. фоторезист—напр. для опознавания детали photoresist...Русско-английский машиностроительный словарь
  12. фоторезист—photoresist lacquer photoemulsion photoresist photo resist resist фоторезист м.uphotoresist materialжидкий фоторезист liquid photoresistзадублнный фоторезист hardened ...Русско-английский политехнический словарь
  13. фоторезист—м. вакуумный фоторезист жидкий фоторезист негативный фоторезист плночный фоторезист позитивный фоторезист...Русско-английский словарь по физике
  14. фоторезист—photoresist photosensitive resist...Русско-английский словарь по электронике
  15. фоторезист—photoresist задубленный фоторезист засвеченный фоторезист обратный фоторезист прямой фоторезистСинонимы материал резист...Русско-английский технический словарь
  16. фоторезист—photoresist...Русско-английский толковый словарь терминов по информатике
  17. фоторезист—м. fotoresist m...Русско-итальянский политехнический словарь
  18. фоторезист—Синонимы материал резист...Русско-китайский словарь
  19. фоторезист—Fotolack Fotoresist Kopierlack Lack электрон.u светочувствительное вещество обеспечивающее селективное травлениеem Photoresist Resist...Русско-немецкий политехнический словарь
  20. фоторезист—photorsist...Русско-французский словарь по химии
  21. фоторезист—fotorezist...Русско-чешский словарь
  22. фоторезист—фоторезист материал резист...Слитно или раздельно? Орфографический словарь-справочник
  23. фоторезист—фоторезист сущ. колво синонимов материал резист Словарь синонимов ASIS.В.Н. Тришин. . Синонимы материал резист...Словарь синонимов II
  24. фоторезист—Ударение в слове фоторезистУдарение падает на букву иБезударные гласные в слове фоторезист...Ударение и правописание
  25. фоторезист—Ферт Трот Трос Триоз Трио Триест Треф Трест Тостер Тост Торф Торт Торс Торос Торит Тори Тор Тоо Тоз Тиф Титр Титор Тит Тис Тирс Тире Тир Тиофос Тизер Тефрит Тетр Тетис Те...Электронный словарь анаграмм русского языка