Большая советская энциклопедия

ФОТОРЕЗИСТ

ФОТОРЕЗИСТ(отфото...и англ. resist - сопротивляться, препятствовать ), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются вполупроводниковой электроникеимикроэлектронике(см., напр.,Планарная технология) дляполучения на пластине "окон" заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Ф. через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Ф. резко уменьшается (негативный Ф.), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Ф.). Последующая обработка растворителем образует в Ф. "окна" на необлучённых участках негативного Ф. или облучённых участках позитивного Ф. Типичные Ф.: негативные - слои поливинилового спирта с солямихромовых кислотили эфирамикоричной кислоты,слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими "сшивание" макромолекул под действием света; позитивные - феноло- или крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. такжеФотолитография.

Лит.:Фотолитография и оптика, М.-Берлин, 1974; Мазель Е. 3., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

же, что ифотопроводимость.




  1. фоторезист—от Фото. и англ. resist сопротивляться препятствовать полимерный светочувствительный слой нанеснный на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плнкой. Ф. исполь...Большая Советская энциклопедия II
  2. фоторезист—сущ. муж. родафоторезист уem...Большой русско-украинский словарь
  3. фоторезист—фоторезист у...Дзвона чи дзвону? або -А (-Я) чи -У (-Ю) в родовому відмінку
  4. фоторезист—Начальная форма Фоторезист винительный падеж единственное число мужской род неодушевленное...Морфологический разбор существительных
  5. фоторезист—фоторезист фоторезист а...Орфографический словарь
  6. фоторезист—фоторезист...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік
  7. фоторезист—photorsist rsine photosensible...Политехнический русско-французский словарь
  8. фоторезист—Орфографическая запись слова фоторезист Ударение в слове фоторезист Деление слова на слоги перенос слова фоторезист Фонетическая транскрипция слова фоторезист [фатаризис...Полный фонетический разбор слов
  9. фоторезист—фоторезист аСинонимы материал резист...Русский орфографический словарь
  10. фоторезист—напр. для опознавания детали photoresist...Русско-английский машиностроительный словарь
  11. фоторезист—photoresist lacquer photoemulsion photoresist photo resist resist фоторезист м.uphotoresist materialжидкий фоторезист liquid photoresistзадублнный фоторезист hardened ...Русско-английский политехнический словарь
  12. фоторезист—м. вакуумный фоторезист жидкий фоторезист негативный фоторезист плночный фоторезист позитивный фоторезист...Русско-английский словарь по физике
  13. фоторезист—photoresist photosensitive resist...Русско-английский словарь по электронике
  14. фоторезист—photoresist задубленный фоторезист засвеченный фоторезист обратный фоторезист прямой фоторезистСинонимы материал резист...Русско-английский технический словарь
  15. фоторезист—photoresist...Русско-английский толковый словарь терминов по информатике
  16. фоторезист—м. fotoresist m...Русско-итальянский политехнический словарь
  17. фоторезист—Синонимы материал резист...Русско-китайский словарь
  18. фоторезист—Fotolack Fotoresist Kopierlack Lack электрон.u светочувствительное вещество обеспечивающее селективное травлениеem Photoresist Resist...Русско-немецкий политехнический словарь
  19. фоторезист—photorsist...Русско-французский словарь по химии
  20. фоторезист—fotorezist...Русско-чешский словарь
  21. фоторезист—фоторезист материал резист...Слитно или раздельно? Орфографический словарь-справочник
  22. фоторезист—фоторезист сущ. колво синонимов материал резист Словарь синонимов ASIS.В.Н. Тришин. . Синонимы материал резист...Словарь синонимов II
  23. фоторезист—Ударение в слове фоторезистУдарение падает на букву иБезударные гласные в слове фоторезист...Ударение и правописание
  24. фоторезист—Ферт Трот Трос Триоз Трио Триест Треф Трест Тостер Тост Торф Торт Торс Торос Торит Тори Тор Тоо Тоз Тиф Титр Титор Тит Тис Тирс Тире Тир Тиофос Тизер Тефрит Тетр Тетис Те...Электронный словарь анаграмм русского языка
  25. фоторезист—Термин фоторезистdd Термин на английском dd Синонимы dd Аббревиатуры dd Связанные термины литография травление в литографии dd Определение свето или рентгеночувствительны...Энциклопедический словарь нанотехнологий