Слитно. Раздельно. Через дефис. Словарь-справочникФТОРОХЛОРИДфторохлори/д, -афторохлорид—фторохлорид...Слитно или раздельно? Орфографический словарь-справочникФТОРПРОИЗВОДНЫЙФТОРСИЛИКАТ