Политехнический русско-французский словарьТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ПЛАЗМАplasma solideтвердотельная плазма—solidstate plasma...Русско-английский словарь по электроникеТВЕРДОТЕЛЬНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКАТВЁРДЫЙ