Энциклопедический словарь нанотехнологий
ЭПИТАКСИЯ ТВЕРДОФАЗНАЯ
- Термин
- эпитаксия твердофазная
- Термин на английском
- solid phase epitaxy
- Синонимы
- Аббревиатуры
- ТФЭ, SPE
- Связанные термины
- гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
- Определение
- способ наращивания эпитаксиальной пленки, при котором сначала при пониженной температуре осаждается неупорядоченная (аморфная) пленка, после чего проводится ее кристаллизация при более высоких температурах (которые, однако, ниже температуры плавления этого материала).
- Описание
- Авторы
- Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- Иллюстрации
- Теги
- Разделы
- Эпитаксиальные слои
Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
- эпитаксия твердофазная—атты фазалы эпитаксия...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік