Энциклопедический словарь нанотехнологий

ЭПИТАКСИЯ

Термин

эпитаксия

Термин на английском

epitaxy

Синонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

гетероструктура полупроводниковая, гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, подложка, эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод

Определение

ориентированный рост одного монокристалла на монокристаллической поверхности другого

Описание

Важное значение для получения эпитаксиальных слоев высокого кристаллического совершенства являются: чистота поверхности подложки, скорость нанесения материала и температура процесса.Рост эпитаксиальных пленок может происходить из газовой, жидкой или твердой фазы, поэтому различают газофазную эпитаксию, жидкофазную эпитаксию, твердофазную эпитаксию и молекулярно-лучевую эпитаксию.
Монокристаллическая подложка задает параметры роста пленки, поэтому кристаллическая структура и ориентация эпитаксиальной пленки совпадает со структурой и ориентацией подложки. Это отличает эпитаксиальный рост от роста тонких пленок, когда наблюдается рост поликристаллических или аморфных пленок даже на монокристаллических подложках. Если состав пленки и подложки совпадают, процесс называют гомоэпитаксией, если нет, то гетероэпитаксией.

Эпитаксиальный рост широко используется в нанотехнологиях и производстве полупроводниковых приборов для создания слоев полупроводниковых материалов с высоким кристаллическим качеством, таких как кремний-германий, нитрид галлия, арсенид галлия и фосфид индия.

Авторы

Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Ссылки

Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.

Иллюстрации

Теги

Разделы

Эпитаксиальные слои
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

эпитаксия—от Эпи. и греч. txis расположение порядок ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого подложки. Различают гетероэпитаксию когда вещества подложки и нара...Большая Советская энциклопедия II
эпитаксия—от греч. epi на над при и taxis расположение порядок ориентированная кристаллизация вва на поверхности кристаллаподложки. Э. используется в микроэлектронике и для полу...Большой энциклопедический политехнический словарь
эпитаксия—от эпи. и греч. taxis расположение ориентированный ростодного монокристалла на поверхности другого подложки. Вещества могутбыть одинаковы гомоэпитаксия или автоэпитакси...Большой энциклопедический словарь II
эпитаксия—ЭПИТАКСИЯ от эпи. и греч. taxis расположение ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого подложки. Вещества могут быть одинаковы гомоэпитаксия или ...Большой Энциклопедический словарь V
эпитаксия—закономерное срастание клов веществ разл. состава связанное с близостью строения их кристаллических структур или отдельных плоских сеток и рядов решеток срастающихся млов...Геологическая энциклопедия
эпитаксия—от эпи.i и греч. taxis расположение ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого подложки. Вва могут быть одинаковы гомоэпитаксия или автоэпитаксия и...Естествознание. Энциклопедический словарь
эпитаксия—Начальная форма Эпитаксия единственное число женский род именительный падеж неодушевленное...Морфологический разбор существительных
эпитаксия—эпитаксия эпитаксия и...Орфографический словарь
эпитаксия—эпитаксия...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік
эпитаксия—pitaxie...Политехнический русско-французский словарь
эпитаксия—Орфографическая запись слова эпитаксия Ударение в слове эпитаксия Деление слова на слоги перенос слова эпитаксия Фонетическая транскрипция слова эпитаксия [птакса] Харак...Полный фонетический разбор слов
эпитаксия—эпитаксия иСинонимы гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русский орфографический словарь
эпитаксия—эпитаксия ж.uepitaxyжидкостная эпитаксия liquid epitaxyэпитаксия из паровой фазы vapour epitaxy гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русско-английский политехнический словарь
эпитаксия—epitaxy гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русско-английский словарь по машиностроению
эпитаксия—ж. газотранспортная эпитаксия газофазная эпитаксия гидротермальная эпитаксия жидкостная эпитаксия жидкофазная эпитаксия локальная молекулярнолучевая эпитаксия металлоорга...Русско-английский словарь по физике
эпитаксия—epitaxy...Русско-английский словарь по электронике
эпитаксия—epitaxyэпитаксия из паровой фазы vapor epitaxy гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русско-английский технический словарь
эпитаксия—эптаuкся с эпитаксия лазерная...Русско-белорусский словарь математических, физических и технических терминов
эпитаксия—эптакся с...Русско-белорусский физико-математический словарь
эпитаксия—ж. физ. epitassia f...Русско-итальянский политехнический словарь
эпитаксия—Синонимы гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русско-китайский словарь
эпитаксия—способ создания тонкого полупроводникового слоя при производстве интегральных микросхемem Epitaxie Reproduktion крист....Русско-немецкий политехнический словарь
эпитаксия—pitaxie...Русско-французский словарь по химии
эпитаксия—epitaxe epitaxie...Русско-чешский словарь
эпитаксия—эпитаксия сииСинонимы гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Русское словесное ударение
эпитаксия—эпитаксия эпи. гр.em taxis расположение ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого подложки. Новый словарь иностранных слов. by EdwART Синонимы гетероэп...Словарь иностранных слов русского языка
эпитаксия—Epitaxy Эпитаксия. Рост кристаллов при электролизе или из паровой фазы при котором ориентация образующихся отложений непосредственно связана кристаллическими ориентациям...Словарь металлургических терминов
эпитаксия—эпитаксия сущ. колво синонимов гетероэпитаксия гомоэпитаксия Словарь синонимов ASIS.В.Н. Тришин. . Синонимы гетероэпитаксия гомоэпитаксия...Словарь синонимов II
эпитаксия—ЭПИТАКСИЯ от эпи . и греч. taxis расположение ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого подложки. Вещества могут быть одинаковы гомоэпитаксия или ...Современный энциклопедический словарь
эпитаксия—эпитаксия [эпи. гр. taxis расположение] ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого подложки....Толковый словарь иностранных слов
эпитаксия—Ударение в слове эпитаксияУдарение падает на буквы аиБезударные гласные в слове эпитаксия...Ударение и правописание
эпитаксия—от греч. epi на и taxis расположение порядок ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого подложки. Различают гетероэпитаксию когда вва подложки и нарас...Физическая энциклопедия
эпитаксия—от эпи. i и греч. taxis расположение порядок ориентированный рост одного кристалла на повсти другого подложки. Различают гетероэпитаксию когда вва подложки и нарастающег...Химическая энциклопедия
эпитаксия—Тик Тая Таск Такси Таисия Таис Сяк Сэта Стик Стая Спик Скит Скип Скат Ска Сити Сип Сати Сап Сак Пятка Пятак Пята Пястка Пистия Пистика Писк Пикт Пик Пиит Пат Пасти Пакт П...Электронный словарь анаграмм русского языка
эпитаксия—[epitaxy] ориентированный рост одного кристалла на поверхности другого подложки. Различают гетероэпитаксию когда вещества подложки и нарастающего кристалла различны и го...Энциклопедический словарь по металлургии
эпитаксия—[ таксис расположение порядок] закономерное срастание кристаллов веществ различного состава связанное с близостью строения кристаллической решетки или отдельных плоских...Энциклопедия Большой научной библиотеки