Энциклопедический словарь нанотехнологий

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ

Термин
эллипсометрия
Термин на английском
ellipsometry
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
протеомика
Определение
Метод исследования свойств вещества на границе (поверхности) раздела различных сред и происходящих в нем явлений (адсорбции, окисления и т. д.) по изменению параметров эллиптической поляризации отраженного света.
Описание

Основная область применения эллипсометрии - исследование оптических свойств материалов. Это включает в себя измерения оптических постоянных тонких (например, оксидных) пленок, а также их толщин в диапазоне, существенно меньшем длины волны света.Интерес к эллипсометрии возрос в 70-80-х гг. 20 в. в связи с особым значением, которое стали придавать анализу структуры, изучению физико-химических свойств и контролю чистоты поверхностей вследствие быстрого развития твердотельной (прежде всего, полупроводниковой) электроники. Эллипсометрия используется также для исследования адсорбции в глубоком вакууме на плоских поверхностях металлов, адсорбции полимеров на границе жидкость-газ и жидкость-жидкость, процессов катализа на микроуровне, свойств верхних слоев поверхностей, подвергнутых коррозии, в электрохимии для изучения окисления электродов, в микробиологии - для исследования оболочек клеток и липидных мембран и др.

Достоинствами эллипсометрии являются простота и быстрота измерений (имеются автоматические эллипсометры), возможность производить их в ходе процесса (in situ), в вакууме, при высоких температурах, в агрессивных средах; кроме того, при экспериментах поверхности не загрязняются и не разрушаются. Главный недостаток метода - трудность правильного выбора модели отражающей системы и интерпретации результатов измерений. Поэтому наиболее перспективно сочетание эллипсометрии с другими методами исследования поверхности, например с оже-спектроскопией, УФ и рентгеновской спектроскопией, методами дифракции электронов и рассеяния ионов.

Авторы
  • Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
Ссылки
  1. эллипсометрия/Химическая энциклопедия. - М.:Советская энциклопедия, 1995.- http://www.chemport.ru/chemical_encyclopedia_article_4526.html
Иллюстрации
Теги
Разделы
Оптический контроль (профилометрия, флуоресценция, эллипсометрия, конфокальная микроскопия)
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

  1. эллипсометрия—физический метод оценки аффинности моноклональных антител...Большой русско-английский словарь биологических терминов
  2. эллипсометрия—Начальная форма Эллипсометрия единственное число женский род именительный падеж неодушевленное...Морфологический разбор существительных
  3. эллипсометрия—эллипсметрия...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік
  4. эллипсометрия—ellipsomtrie...Политехнический русско-французский словарь
  5. эллипсометрия—ellipsometry...Русско-английский политехнический словарь
  6. эллипсометрия—ж. когерентная эллипсометрия эллипсометрия отражения...Русско-английский словарь по физике
  7. эллипсометрия—ellipsometry...Русско-английский словарь по электронике
  8. эллипсометрия—ellipsometry...Русско-английский строительный словарь
  9. эллипсометрия—ellipsometry...Русско-английский химический словарь
  10. эллипсометрия—ж. ellissometria f...Русско-итальянский политехнический словарь
  11. эллипсометрия—Ellipsometrie...Русско-немецкий словарь по химии и химической технологии
  12. эллипсометрия—Ellipsometrie...Русско-немецкий химический словарь
  13. эллипсометрия—ellipsomtrie...Русско-французский словарь по химии
  14. эллипсометрия—совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка отражнного этой поверхностью и преломлнного на ней. Падающий на повер...Физическая энциклопедия
  15. эллипсометрия—метод исследования свв границы повсти раздела разл. сред и происходящих на ней явлений адсорбция окисление и др. по параметрам эллиптич. поляризации отраженного света. Пр...Химическая энциклопедия
  16. эллипсометрия—Проем Приятие Прилет Прием Престол Престо Преос Премия Премило Пояс Поэт Потир Поти Потеря Пот Пострел Постер Пост После Пос Порт Помести Полмил Полметр Полиэстр Полиэсте...Электронный словарь анаграмм русского языка