Энциклопедический словарь нанотехнологий
ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Статьи
- литография
- микроморфология
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
- электронная литография—электронды литография...Орысша-қазақша «Электроника, радиотехника және байланыс» терминологиялық сөздік