Энциклопедический словарь нанотехнологий
ФИЗИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ (ЛАЗЕРНЫЕ, ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВЫЕ, ИОННОПЛАЗМЕННЫЕ) ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ НАНОМЕТРОВЫХ ТОЛЩИН
Подразделы
- Поликристаллические слои
- Эпитаксиальные слои
Статьи
- абляция
- адсорбция
- биосовместимые покрытия
- гетероэпитаксия
- гомоэпитаксия
- зародышеобразование
- криоконденсация
- механизм роста Странского - Крастанова
- механизм роста Франка – Ван дер Мерве
- механизмы роста тонких пленок
- микроморфология
- осаждение атомных слоев
- островок
- плазменно-химическое осаждение из газовой фазы
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)