Энциклопедический словарь нанотехнологий

ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

Термин
тонкие пленки
Термин на английском
thin films
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка, рентгеновская спектроскопия, электронная микроскопия
Определение
Тонкие слои материала, толщина которых находится в диапазоне от долей нанометра (моноатомного слоя) до нескольких микрон.
Описание

Тонкие пленки могут быть твердыми или жидкими (реже - газообразными). Состав, структура и свойства тонких пленок могут отличаться от таковых для объемной фазы, из которой образовалась тонкая пленка.

К твердым тонким пленкам относятся оксидные пленки на поверхности металлов и искусственные пленочные покрытия, формируемые на различных материалах с целью создания приборов микроэлектроники, предотвращения коррозии, улучшения внешнего вида и т. п.

Жидкие тонкие пленки разделяют газообразную дисперсную фазу в пенах и жидкие фазы в эмульсиях; образование устойчивых пен и эмульсий возможно только при наличии ПАВ в составе пленок. Жидкие тонкие пленки могут возникать самопроизвольно между зернами в поликристаллических твердых телах, если поверхностная энергия границы зерна превышает поверхностное натяжение на границе твердой и жидкой фаз более, чем вдвое (условие Гиббса-Смита).Газообразные тонкие пленки с заметным временем жизни могут возникнуть между каплей и объемной жидкостью в условиях испарения.

Определение толщины тонких пленок часто проводят методами, основанными на измерении интенсивности отраженного света, например, при помощи эллипсометрии; используют также электрические методы, основанные на определении емкости и проводимости тонких пленок. Для изучения твердых тонких пленок применяют электронную микроскопию, рентгеновскую спектроскопию и другие методы, разработанные для исследования поверхности твердых тел. Получение тонких пленок и тонкопленочных покрытий лежит в основе ряда современных областей техники, прежде всего микроэлектроники.

Авторы
  • Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
  • Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.
Ссылки
  1. Тонкие пленки / Химическая энциклопедия - М.: Большая российская энциклопедия - С. 607 - 608
  2. Thin films / Wikipedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/Thin_films
Иллюстрации
Теги
Разделы
Двумерные нанообъекты с характерными толщинами порядка размеров молекул
Искусственные (синтетические) низкоразмерные объекты
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

  1. тонкие пленки—жа лдр...Русско-казахский терминологический словарь «Горное дело и металлургия»
  2. тонкие пленки—твердые или жидкие режегазообразные слои между макроскопич. фазами толщина крых соизмерима с расстоянием действия поверхностных сил. Имеют особые в сравнении с объемной ф...Химическая энциклопедия