Энциклопедический словарь нанотехнологийОПТИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫСтатьибиомедицинские микроэлектромеханические системынанофотоника(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)КИНЕЗИНИНДЕНТИРОВАНИЕ ПРИ ПОЛЗУЧЕСТИ