Энциклопедический словарь нанотехнологий
ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
Статьи
- лаборатория на чипе
- литография
- микроморфология
- фоторезист
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)
- оптическая литография—optical lithography...Русско-английский политехнический словарь