Энциклопедический словарь нанотехнологий

ЛИТОГРАФИЯ

Термин

литография

Термин на английском

lithography

Синонимы

Аббревиатуры

Связанные термины

атомно-силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист

Определение

технология переноса рисунка с шаблона на конкретную поверхность (полимерную пластину, полупроводниковую подложку и т.д.) с помощью светового излучения (фотолитография), рентгеновского излучения (рентгенолитография), потока электронов/ионов (электронно-лучевая/ионно-лучевая), а также непосредственно методами сканирующей зондовой микроскопии или атомной силовой микроскопии.

Описание

Исторически литография – это способ перенесения на бумагу изображения или текста с плоской поверхности камня, на которой они предварительно были созданы. В настоящее время термин "литография" используется в широком смысле как техника переноса изображения [1-2].

Применительно к области нанотехнологий под литографией чаще всего понимают технологию микроэлектроники, включающую в себя набор нескольких этапов:

1. Нанесение фоточувствительной полимерной пленки (фоторезиста) на кремневую пластину;
2. Сушку и последующее облучение (экспонирование) пленочного покрытия пластины с определенным рисунком через соответствующую маску;
3. Проявление (травление) экспонированного покрытия в специальном растворе;
4. Формирование на подложке физической структуры элементов электронной схемы.

В последнее десятилетие термин “литография” используется в более широком значении - как метод формирования на поверхности подложки не только электронных схем, но и наноструктур (или рисунков с нанометровым разрешением) путем переноса их изображения с помощью маски или штампа, или же непосредственным воздействием на поверхность образца (литография с помощью СТМ или АСМ).

В зависимости от длины волны используемого излучения различают оптическую, ультрафиолетовую, рентгеновскую, электронно-лучевую и ионно-лучевую литографию. Интерференционная голографическая литография может осуществляться с использованием светового, ультрафиолетового или синхротронного рентгеновского излучения.

Использование силовой туннельной микроскопии (СТМ) позволяет также реализовать ряд нанолитографических операций, как то, модификацию поверхности, перенос материала зонда на образец и наоборот, что делает возможным создание литографических рисунков с нанометровым разрешением. При таком подходе зонд микроскопа перемещается по поверхности подложки с достаточно большой силой прижима так, что на подложке (или на лежащем на ней слое резиста) формируется рисунок в виде углублений (царапин). Альтернативой силового прижима зонда является подача на образец токового импульса (при этом область воздействия может расплавляться или частично испаряться). Такой способ литографии (наногравировки) обладает рядом преимуществ по сравнению электронно/ионно-лучевыми литографиями, в частности, нет необходимости в дополнительных технологических операциях (травление и пр.). Однако имеются и недостатки – при статическом воздействии зонда случайные торсионные изгибы кантиливера приводят к краевым неоднородностям рисунка, а операции сканирования (предшествующие и последующие нанолитографической операции) приводят к сдвиговым искажениям рисунка [3].

В случае динамической литографии с использование атомной силовой микроскопии (АСМ) формирование углублений происходит с помощью колеблющегося зонда с использованием прерывисто-контактного метода сканирования. Такой способ решает проблемы искажения рисунка (и позволяет визуализовать сформированный рисунок без серьезного воздействия на поверхность). Такая литография может производиться с помощью векторного или растрового сканирования (первый способ по сравнению со вторым делает возможным высокую скорость процесса, но при этом не дает возможности варьировать силу воздействия на подложку в процессе литографии). Одной из важных разновидностей АСМ-литографии является анодно-окислительная литография, когда указанным методом можно менять не только геометрические характеристики поверхности, но и ее локальные электрофизические свойства (приложение электрического смещения к проводящему кантиливеру стимулирует протекание электрохимических процессов на поверхности непосредственно под образцом, при этом может происходить окисление металлических слоев). Зонд и поверхность образца выступают в таком процессе как катод и анод – и в зависимости от прикладываемого электрического потенциала можно варьировать толщину выращиваемого анодного окисла.

Еще одним наиболее востребованным видом литографии на сегодняшний день является импринт-литография - она основана на использовании штампа с нанорельефом, играющего ту же роль, что и шаблон в контактной оптической литографии. Штамп изготавливается методом электронной литографии и анизотропного плазмохимического травления. Нанорельеф "впечатывается" в полимер, покрывающий подложку, в условиях нагрева и высокого давления. Полимер с нанорельефом служит маской в последующих операциях (травление, имплантация и т.д.). С помощью этого метода была продемонстрирована возможность создания рекордных по разрешению и плотности структур. При этом достигнутое разрешение составляет около 6 нм, а расстояние между элементами структуры - 20-30 нм. Главные ограничения метода заключаются в трудностях совмещения штампов для формирования различных слоев структуры [4].

Авторы

Разумовский Алексей Сергеевич, к. ф.-м. н
Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.

Ссылки

Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию. - Москва: Бином, 2007. - 134 с.
http://www.nanoscopy.org/
Вестник РАН, т. 73, № 5 (2003)

Иллюстрации

Теги

Разделы

Наноимпринтинг и травление
Рентгеновская литография
Электронная литография
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)
Технология

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)

литография—от Лито. и .графия способ печати при котором оттиски получаются переносом краски под давлением с плоской нерельефной печатной формы непосредственно на бумагу произведение...Большая Советская энциклопедия II
литография—ж. litografia litotipia Итальянорусский словарь. Синонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолит...Большой итальяно-русский и русско-итальянский словарь
литография—ж печатание с камняem Lithographie f Steindruck m мастерскаяem lithographische Werkstatt рисунокem Lithographie f plem phien Синонимы автография автолитография камнепеч...Большой немецко-русский и русско-немецкий словарь
литография—литография ж . печатание с камня Lithographie f Steindruck m a . мастерская lithographische Werkstatt . рисунок Lithographie f pl phienСинонимы автография автолитография ...Большой немецко-русский и русско-немецкий словарь
литография—ж.litografa f...Большой русско-испанский словарь
литография—сущ. жен. рода...Большой русско-украинский словарь
литография—ж. lithographie f...Большой русско-французский словарь
литография—один из способов плоской печати. Печатная форма изготовляется из литографического камня. Различаются Л. перьевая меловая гравюра на камне травление на камне. Ранее широко...Большой филателистический словарь
литография—ж.lithographie f автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Большой французско-русский и русско-французский словарь
литография—от лито. и .графия способ плоской печати при которомпечатной формой служит поверхность камня известняка. Изобретена в А. Зенефельдером. Изображение на литографский камен...Большой энциклопедический словарь II
литография—ЛИТОГРАФИЯ от лито. и .графия способ плоской печати при котором печатной формой служит поверхность камня известняка. Изобретена в А. Зенефельдером. Изображение на литог...Большой Энциклопедический словарь V
литография—от лито. и .графия способ плоской печати где печатной формой служит поверхность камня известняка на которую жирной литографской тушью или карандашом наносится изображение...Иллюстрированный энциклопедический словарь
литография—ЛИТОГРАФИЯ и ж. lithographie f. нем. Lithographie ampLT lithos камень grapho пишу. strong. То же что литологияem. Ян. . . Рисование на литографском камне способ печатан...Исторический словарь галлицизмов русского языка
литография—литография....Киргизско-русский словарь
литография—способ печати с плоского литографского камня известняка или близкой по свойству металлической пластины на который наносится рисунок специальной жирной краской листовое и...Краткий толковый словарь по полиграфии
литография—Литография lithographia icon lithographica...Латинский словарь
литография—и ж.em Старейший способ печати печатание с плоской поверхности камня на которой сделан рисунок.Полученный таким способом оттиск.Художественная литография.Предприятие или ...Малый академический словарь
литография—греч. Lithos камень grapho пишу рисую вид тиражной графики способ плоской печати разработанный в г. в Германии Алоизом Зенефельдером. Основан на принципе отделения ж...Мировая художественная культура. Словарь
литография—корень ЛИТ соединительная гласная О корень ГРАФ окончание ИЯ Основа слова ЛИТОГРАФВычисленный способ образования слова Сложение основ ЛИТ соединительная гласная О ...Морфемный разбор слова по составу
литография—Начальная форма Литография единственное число женский род именительный падеж неодушевленное...Морфологический разбор существительных
литография—ЛИТОГРАФИЯstrong метод ПЕЧАТАНИЯ с плоской покрытой типографской краской поверхности. Этот метод изобретенный в х гг. основан на том что жир и вода не смешиваются. Литогр...Научно-технический энциклопедический словарь
литография—литография ж. Один из старых способов печатания с плоской поверхности камня на которой сделан рисунок. Изображение напечатанное таким способом. Предприятие цех где печ...Новый толково-словообразовательный словарь русского языка
литография—литография литография и...Орфографический словарь
литография—u жu Р.u Д.u Пр.u литографии мн.u литографии Р.u литографий автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромол...Орфографический словарь русского языка
литография—литография...Орысша-қазақша «Жеңіл және тоқыма өнеркәсібі» терминологиялық сөздік
литография—lithographie...Политехнический русско-французский словарь
литография—литография литографии литографии литографий литографии литографиям литографию литографии литографией литографиею литографиями литографии литографиях...Полная акцентуированная парадигма по Зализняку
литография—Орфографическая запись слова литография Ударение в слове литография Деление слова на слоги перенос слова литография Фонетическая транскрипция слова литография [лтаграфа]...Полный фонетический разбор слов
литография—от нем. Lithographie lt греч. lithos камень grapho пишу черчу способ прямой плоской печатиi для которого печатная формаi изготавливается на плоском литографском камн...Реклама и полиграфия
литография—лтографя....Російсько-український словник (Українська академія наук)
литография—ЛИТОГРАФИЯ графич. техника прообраз плоской печати произведения выполненные в этой технике предприятие делающее такую печать.Техника Л. представляет собой способ плоской...Российский гуманитарный энциклопедический словарь
литография—литография иСинонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Русский орфографический словарь
литография—Ж litoqrafiya . da basmas . da basma apxanas . da basmas sulu il alnm kil....Русско-азербайджанский словарь
литография—print printing lithographic processing литография ж.u .strong процесс lithography .strong изделие lithographцветная литография .strong процесс chromolithography .strong ...Русско-английский политехнический словарь
литография—литография ж.i. оттискi lithograph . искусствоi lithography...Русско-английский словарь
литография—литография ж. . печатание lithography . оттиск lithograph . предприятие lithographical works pl. литографский lithographic....Русско-английский словарь II
литография—ж. микр. ионнолучевая литография рентгеновская литография электроннолучевая литография...Русско-английский словарь по физике
литография—lithograph lithography lithographic printing...Русско-английский словарь по электронике
литография—lithography цветная литографияСинонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электроноли...Русско-английский технический словарь
литография—N...Русско-армянский словарь
литография—Лтаграфя...Русско-белорусский словарь
литография—в разн. знач.i лтаграфя жен.i...Русско-белорусский словарь II
литография—лтаграuфя ф литография вакуумная литография лазерная литография лазерная сухая литография проекционная...Русско-белорусский словарь математических, физических и технических терминов
литография—лтаграфя ф...Русско-белорусский физико-математический словарь
литография—knyoms автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Русско-венгерский словарь
литография—автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Русско-ивритский словарь
литография—ж. полигр. litografia f litotipia f...Русско-итальянский политехнический словарь
литография—полигр. литография жадаай таса басу дс. предприятие цех литография литография дсмен басатын орын. рисунок литография литография жолымен салынан сурет...Русско-казахский словарь
литография—литография...Русско-казахский терминологический словарь «История»
литография—литография...Русско-казахский терминологический словарь «Философия и политология»
литография—ж. полигр. литография . таш басма жазуу же срт жалпак таштын бетине тшрлп андан кагазга басып чыгаруу жолу . литография жолу менен басып чыгаруучу ишкана . литография жол...Русско-киргизский словарь
литография—shyn оттискem shynthu shynpn предприятиеem shyn ynshusuСинонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография...Русско-китайский словарь
литография—litogrfija...Русско-латышский словарь
литография—Чулуун бар чулуун барын дардас...Русско-монгольский словарь
литография—Lithographie...Русско-немецкий политехнический словарь
литография—ж. способ рисунок Lithographie f....Русско-немецкий словарь
литография—Lithografie...Русско-нидерландский словарь
литография—akvarellfargetrykk litografi steintrykk автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронол...Русско-норвежский словарь
литография—жlitografia f автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Русско-португальский словарь
литография—литография литография...Русско-таджикский словарь
литография—ж литография ташбасма...Русско-татарский словарь
литография—ж печатаниеem tabask litografya оттискem tabasma resim litografya Синонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотол...Русско-турецкий словарь
литография—litografi litografya ta basmas ta basks...Русско-турецкий словарь по строительству и архитектуре
литография—техн. лтографя ионная литография Синонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электро...Русско-украинский политехнический словарь
литография—kamenotisk kamenotiskrna litografie...Русско-чешский словарь
литография—.strong kivitrkikoda.strong kivitrkk lito litograafia...Русско-эстонский словарь
литография—литография иСинонимы автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Русское словесное ударение
литография—литография автография автолитография камнепечатание камнепечатня нанолитография олеография размывка фотолитография хромолитография электронолитография эстамп...Слитно или раздельно? Орфографический словарь-справочник
литография—ЛИТОГРАФИЯ гр. от lithos камень и grapho пишу. искусство печатать рисунки сделанные на камне. заведение где печатают с камня т. е. литографским способом. Словарь инос...Словарь иностранных слов русского языка
литография—способ плоской печати при котором печатной формой служит поверхность камня известняка. Изобретена в г. Сохраняет значение для выполнения художественных эстампов....Словарь исторических терминов
литография—ЛИТОГРАФИЯ лиfontо и ж.iН.лат. lithographia через нем. Lithographie.То же что литология.Ян. II .Искусство вырезания на камне.Ян. II . Лекс.em Ян. литография или ли...Словарь русского языка XVIII в
литография—литография автография размывка олеография эстамп Словарь русских синонимов. литография сущ. колво синонимов автография автолитография камнепечатание камнепечатня ...Словарь синонимов II
литография—литография автография размывка олеография эстамп...Словарь синонимов
литография—ЛИТОГРАФИЯ от лито. и.графия способ плоской печати где печатной формой служит поверхность камня известняка на которую жирной литографской тушью или карандашом наносится и...Современная энциклопедия
литография—ЛИТОГРАФИЯ от лито . и .графия способ плоской печати при котором печатной формой служит поверхность камня известняка. Изобретена в А. Зенефельдером. Изображение на литог...Современный энциклопедический словарь
литография—ЛИТОГРАФИЯ ж. греч. искусство писать рисовать на литографическом камне и печатать с него камнепечатание. Заведение где печатают с камней камнепечатня. Писание или карти...Толковый словарь живого великорусского языка
литография—литография [ем. лито. .графил] способ печатания при котором рисунок наносят на плоскую поверхность спец. камня известняка жирным веществом а пробельны. участки увлажня...Толковый словарь иностранных слов
литография—ЛИТОГРАФИЯ и ж. . Печатание с поверхности камня на крой сделанрисунок. . Предприятие где печатают таким способом. . Рисунокнапечатанный таким способом. II прил. литографс...Толковый словарь Ожегова
литография—ЛИТОГРАФИЯ литографии ж. от греч. lithos камень и grapho пишу. . только ед. Печатание с камня а не с набора. . Мастерская для печатания с камня. . Рисунок изготовленный...Толковый словарь русского языка II
литография—литография литография и ж. Печатание с поверхности камня на крой сделан рисунок. Предприятие где печатают таким способом. Рисунок напечатанный таким способом.прил. литогр...Толковый словарь русского языка II
литография—ЛИТОГРАФИЯ и ж. . Печатание с поверхности камня на крой сделан рисунок. . Предприятие где печатают таким способом. . Рисунок напечатанный таким способом. прилагательное ...Толковый словарь русского языка
литография—Ударение в слове литографияУдарение падает на букву аБезударные гласные в слове литография...Ударение и правописание
литография—Rzeczownik литография f litografia f...Универсальный русско-польский словарь
литография—литография литографии литографии литографий литографии литографиям литографию литографии литографией литографиею литографиями литографии литографиях Источник Полная акцен...Формы слова
литография—Литография от греч. lithos камень и grбpho пишу рисую специфический вид тиражной графики способ плоской печати при котором оттиски получаются переносом краски под давле...Художественная энциклопедия
литография—Фляга Флот Флор Флирт Флат Флаг Фита Фира Филя Фил Фигляр Фигаро Фига Фиат Фиал Фаялит Фат Фарт Фал Фагот Фаг Тягло Тяга Трог Трио Трилогия Триглиф Тригла Триал Трал Торф...Электронный словарь анаграмм русского языка
литография—Литография писание черчение и художественное рисование на камне чернилами и карандашом особого состава а также иглою и производство на бумаге отпечатков написанного наче...Энциклопедический словарь
литография—писание черчение и художественное рисование на камне чернилами и карандашом особого состава а также иглою и производство на бумаге отпечатков написанного начерченного или...Энциклопедический словарь Ф.А. Брокгауза и И.А. Ефрона
литография—Литография способ плоской печати при котором печатной формой служит поверхность камня известняка. Изобретена в г. dd Большой толковый словарь по культурологии.Кононенко ...Энциклопедия культурологии