Большой энциклопедический словарь III
ЭПИТАКСИЯ (ОТ ЭПИ... И ГРЕЧ. TAXIS РАСПОЛОЖЕНИЕ)
ЭПИТАКСИЯ (от эпи... и греч. taxis - расположение), ориентированный рост одного монокристалла на поверхности другого (подложки). Вещества могут быть одинаковы (гомоэпитаксия, или автоэпитаксия) или различны (гетероэпитаксия). Эпитаксия определяется условием сопряжения кристаллических решеток кристалла и подложки.