Большой энциклопедический словарь III

ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии), нитевидных монокристаллов ("усов"), барьерных слоев (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др.

  1. химическое осаждение из газовой фазы—получение твердых веществ с помощьюхимических реакций в которых участвуют газообразные реагенты. Используютдля получения текстурированных покрытий монокристаллов эпитакси...Большой энциклопедический словарь II
  2. химическое осаждение из газовой фазы—ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ получение твердых веществ с помощью химических реакций в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурир...Большой Энциклопедический словарь V
  3. химическое осаждение из газовой фазы—получение тврдых вв с помощью хим. реакций в крых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий монокристаллов эпитаксиальных и моно...Естествознание. Энциклопедический словарь
  4. химическое осаждение из газовой фазы—chemical gasphase deposition...Русско-английский словарь по физике
  5. химическое осаждение из газовой фазы—ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ получение твердых веществ с помощью химических реакций в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстуриро...Современный энциклопедический словарь
  6. химическое осаждение из газовой фазы—получение твердых вв рциями с участием газообразных соединений. По механизму рций подразделяется на вида термич. разложение или диспропорционирование газообразных соед....Химическая энциклопедия
  7. химическое осаждение из газовой фазы—ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ получение твердых веществ с помощью химических реакций в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурир...Энциклопедический словарь естествознания
  8. химическое осаждение из газовой фазы—Термин химическое осаждение из газовой фазыdd Термин на английском chemical vapour depositiondd Синонимы химическое осаждение из пара chemical vapor depositiondd Аббревиа...Энциклопедический словарь нанотехнологий