Большой энциклопедический политехнический словарь

ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

(от англ. planar - плоский) - высокопроизводит. метод группового изготовления полупроводниковых приборов иинтегральных схем.Осн. операции П. т.: нанесение тонкой диэлектрич. плёнки на поверхность кристаллич. полупроводника (Si, Ge, GaAs и др.); удаление способом фотолитографии или электронолитографии определ. участков этой плёнки; введение в кристалл через незащищённые плёнкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование). В результате этих операций в кристалле образуются области с р -п-переходами.


  1. планарная технология—ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ планарный процесс англ. planar от лат. planus плоский ровный первоначально совокупность технологич. операций проводимых для получения полупроводник...Большая советская энциклопедия
  2. планарная технология—планарный процесс англ. planar от лат. planus плоский ровный первоначально совокупность технологических операций проводимых для получения полупроводниковых ПП приборов ...Большая Советская энциклопедия II
  3. планарная технология—от англ. planar плоский высокопроизводительныйметод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральныхсхем. Основные операции планарной технологии создан...Большой энциклопедический словарь II
  4. планарная технология—ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ от англ. planar плоский высокопроизводительный метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Основные операции план...Большой Энциклопедический словарь V
  5. планарная технология—от англ planar плоский высокопроизводит. метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Осн. операции П. т создание тонкой диэлектрич. плн...Естествознание. Энциклопедический словарь
  6. планарная технология—technologie planar...Политехнический русско-французский словарь
  7. планарная технология—planar process электрон.u planar technology planar technology...Русско-английский политехнический словарь
  8. планарная технология—planar technology...Русско-английский словарь по машиностроению
  9. планарная технология—planar technology...Русско-английский словарь по физике
  10. планарная технология—planar approach микр. planar planar process...Русско-английский словарь по электронике
  11. планарная технология—planar technology...Русско-английский технический словарь
  12. планарная технология—изготовления микросхемem Ebenentechnik...Русско-немецкий политехнический словарь
  13. планарная технология—planrn technika...Русско-чешский словарь
  14. планарная технология—ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ от англ . planar плоский высокопроизводительный метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Основные операции план...Современный энциклопедический словарь
  15. планарная технология—от англ. planarплоский совокупность способов изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем путем формирования их структур только с одной стороны пластины по...Химическая энциклопедия